石英坩埚

石英坩埚

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  石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等长处,使用越来越广泛。石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节,并且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展。

  目前坩埚出产涂层技术已被大多数厂家使用就是在一般石英砂溶制的坩埚表面涂上一层二氧化钡溶液使其构成致密层,其致密层能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反响提高成晶率。

  石英坩埚可在1450度以下使用,分通明和不通明两种。用电弧法制的半通明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,开展大规模集成电路必不可少的基本材料。

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