石英坩埚工艺流程有哪些呢?

- 2019-08-14-

  一般稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸22英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。现在国内坩埚生产大厂家生产的坩埚技术都比较老到。其生产使用质料石英砂由美国进口和挪威高纯石英砂两种。也有小厂使用国产料其质料生产的石英坩埚对拉制单晶硅时其安稳性都有必定影响。

  现在坩埚生产涂层技术已被大多数厂家使用就是在一般石英砂溶制的坩埚表面涂上一层二氧化钡溶液使其构成细密层,其细密层能阻遏单晶硅高温拉制进程中硅与石英坩埚反响提高成晶率。

  1、石英坩埚工艺流程

  尤尼明高纯石英砂→高纯石墨模具→真空装料成型→真空电弧熔制→天然冷却脱模→石英坩埚初步检测→冷加工喷砂、堵截、倒角→石英坩埚二次检测→超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘干。加温烘烤,喷涂→石英坩埚三次查验→真空包装→成品入库

  2、石英坩埚生产技术

  现在,国内石英坩埚生产企业生产中使用的生产设备及工艺技术悉数源于上世纪70年代初锦州155厂从日本引进的生产设备及工艺技术,该项技术设备自动化程度不高,整个生产进程中更多的依托人工来完结,现在国内新上的坩埚生产设备都现已往自动化展开。

  3、石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,展开大规划集成电路必不行少的根底资料。当今,世界半导体工业兴隆地域已用此坩埚替代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺度大精度高、保温性好、节省动力、质量安稳等利益。

  4、不能和HF触摸,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐效果。

  5、石英坩埚适于用K2S2O7,KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。

  6、石英质脆,易破,使用时要留心